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电子级气体检测

发布时间:2024-01-28

关键词:电子级气体检测

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来源:北京黄金城集团官网科学技术研究所

文章简介:

电子级气体指的是用于半导体行业中的气体材料,主要用于制造半导体器件的工艺过程中。电子级气体的纯度要求非常高,能够保证半导体器件的质量和性能。研究所为了确保电子级气体
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电子级气体指的是用于半导体行业中的气体材料,主要用于制造半导体器件的工艺过程中。电子级气体的纯度要求非常高,能够保证半导体器件的质量和性能。中析研究所为了确保电子级气体的质量,进行了相关的检测工作。

检测范围

中析研究所针对电子级气体进行了以下样品的检测:

1. 氮气、氢气、氧气、氩气、氯气等常用气体

2. 高纯度气体,如高纯氮气、高纯氢气、高纯氧气等

3. 氨气、二氧化硅气体等用于特定工艺的气体

检测项目

中析研究所对电子级气体进行了以下性能指标的检测:

1. 气体纯度:检测气体中杂质元素的含量

2. 含湿量:检测气体中水分的含量

3. 氧含量:检测气体中氧气的含量

4. 压力:检测气体的压力大小

检测使用的仪器设备

中析研究所使用高精度气体分析仪进行电子级气体的检测。该仪器能够通过化学分析技术,快速、准确地测量气体中各种元素和化合物的含量,具有高灵敏度、高分辨率和高精确度的特点。

优势介绍

中析研究所在电子级气体检测方面具有以下优势:

1. 设备先进:中析研究所使用的气体分析仪器设备具有先进的技术和功能,能够满足对电子级气体纯度的高要求。

2. 正规团队:中析研究所拥有一支经验丰富的正规团队,能够熟练操作仪器设备进行检测,并准确分析和报告检测结果。

3. 快速反应:中析研究所能够迅速响应客户的检测需求,提供快速、准确的检测服务,确保电子级气体的质量。

通过中析研究所的检测工作,可以保证电子级气体在半导体行业的应用质量,提高半导体器件的可靠性和性能。

标准列举

  • SJ2798-1987 电子级气体中颗粒的测定方法光散射性法
  • SJ2799-1987 电子级气体中痕量水份的测定方法目视露点法
  • SJ3236-1989 电子级气体中痕量氧的测定方法黄磷发光法
  • SJ3239-1989 电子级气体色谱分析方法的一般规定
  • SJ2807-1987 电子级气体中痕量氢的测定方法气敏色谱法
  • SJ2800-1987 电子级气体中痕量甲烷的测定方法氢焰色谱法
  • SJ2796-1987 电子级氧
  • SJ2795-1987 电子级氮
  • GB11446.1-1989 电子级水
  • GB/T28159-2011 电子级磷酸 Electronicgradephosphoricacid
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